Spiegelobjektive/ reflektierende Objektive

Die original Beck/Ealing Reflexionsobjektive basieren auf einem Zwei-Spiegel-System und sind im Gegensatz zu brechenden Objektiven völlig frei von chromatischer Aberration.

Durch eine genaue Auswahl der Spiegelkrümmung und Ihre Separierung sind diese Objektive korrigiert in Sphärischer Aberration, Koma und Astigmatismus. Dies führt zu einer nur durch Beugung limitierten Abbildungsleistung.

Zusätzlich verfügen dies Objektive noch über folgende Vorteile gegenüber Standardobjektiven:

  • längere Arbeitsentfernung in Relation zur Vergrößerung
  • größere numerische Aperturen für eine höhere Leistung beim Light Gathering
  • hohe Durchgangsleistung vom UV bis weit ins IR
  • geringer Peak to Valley wavefront error ≤ λ/4 (0.25 λ),
    λ/14 RMS @633nm

 

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Applikationen
  • FT-IR-Spektroskopie
  • UV-Messtechnik und Mikroskopie
  • Halbleiter-Wafer-Inspektion
  • Fotomikroskopie
  • Fotolithographie
  • Dünnschichtmessungen
  • Laserstrahlführung
  • Laserbohren und -ätzen
  • Produktkennzeichnung
  • Optisches Laserpumpen
  • Wärmebildmikroskopie

Technische Daten der Standardmodelle:

PropertyBeck Optronic Solutions Model No
5001-0005002-0005003-0005004-0005006-0005007-000
Magnification x15x15x25x36x52x74
Numerical Aperture0.280.500.400.500.650.65
Focal length (mm)13.3513.418.005.413.552.54
Visual FOV (mm)1.201.200.720.500.340.24
Obscuration18.90%19.50%16,70%12.20%16.70%13.30%
Transmitted wavefront error≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm
Working distance (mm)24.523.214.58.61.91.0
Small mirror diameter (mm)7.3013.406.305.604.603.35
User adjustmendt for tubelength & cover glass thicknessFixed (factory set)Fixed (factory set)Fixed (factory set)YesYesYes
Range of cover glass thickness0 - 3.0mm*0 - 3.0mm*0 - 3.0mm*0 - 1.0mm0 - 1.0mm0 - 1.0mm
Range of Tube-length (mm)80 - ∞*80 - ∞*80 - ∞*90 - ∞120 - ∞120 - ∞
* Factory Set for one cover glass thickness and one tube length. To be specified at the time of ordering.

Kundenspezifische Anpassungen mechanischer Art oder z.B. Vakuumeignung sind möglich, teilweise auch nur mit geringen Extrakosten.

Standardgemäß werden die reflektierenden Objektive mit Aluminium beschichteten Spiegeln geliefert. Damit ist die breiterste spektrale Abdeckung vom UV bis weit ins IR gesichert. Limitiert wird das Objektiv bezüglich der verwendbaren Leistungen. Bei Anwendungen, welche hohe Leistungen erfordern, bietet der Hersteller alternative Beschichtungen, siehe Tabelle. Für sehr spezielle Applikationen können auch Sonderbeschichtungen angeboten werden.

RangeReflectanceCoatingSuffix
250nm - 10µm89.0% averageAluminium-000
190nm - 10µm>89.0%DUV Enhanced Aluminium-190
700nm - 15µm98.0%Gold-120

Bei den Objektiven wird der zweite Spiegel im Standard mit einem „3 legged spider“ befestigt. Diese Art mit den 3 Halterungen minimiert die Beugung aber erzeugt gleichzeitig ein Lichtreflexmuster mit 6 Punkten.

Ein „4 legged spider“ bewirkt eine größere Beugung aber erzeugt gleichzeitig ein Lichtreflexmuster mit nur 4 Punkten, was manchmal von Anwendern bevorzugt wird. Ohne Angabe wird immer der Standard mit „3 legged spider“ geliefert.

Hinweise:
Sollten Rückreflexionen ein Problem in Ihrer Anwendung  darstellen, dann kann eine mattschwarze Vertiefung in den zweiten (kleinen) Spiegel geschliffen werden. Wenn ein Durchgangsloch durch den zweiten Spiegel benötigt wird, dann prüfen wir gerne verfügbare Optionen mit dem Hersteller.