Standard- und hochauflösende Fizeau-Interferometer
Die Fizeau-Interferometer von Äpre Instruments sind für die flexible optische Qualitätsbeurteilung von Oberflächen und Optiken geeignet.
Der Vorteil hierbei ist, dass Sie innerhalb einer Minute zwischen einer großen Kohärenzlänge für Laser und einer kleinen Kohärenzlänge für SCI (Spectrally Controlled Interferometry) Anwendungen umschalten können.
Folgende Modelle für Standardauflösung sowie Hochauflösung werden angeboten:
Standardauflösende Universal-Interferometer der S-Serie|SR | |||
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Modell | S50|SR | S100|SR | S150|SR |
Öffnung | 51 mm | 102 mm | 153 mm |
Datenerfassungsmodi | Laser: Vibration Tolerant PSI (Standard) Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition Laser: Wavelength Modulated PSI (Option) Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option) |
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Kameraauflösung | 1022 x 1022 | 1022 x 1022 | 1022 x 1022 |
Bildauflösung | 100 µm | 200 µm | 300 µm |
Fringeauflösung | >250 Fringes/Öffnung | ||
Rückführungsfehler | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 |
Hochauflösende Hochleistungs-Interferometer der S-Serie|HR | ||||
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Modell | S50|HR | S100|HR | S150|HR | S300|HR |
Öffnung | 51 mm | 102 mm | 153 mm | 304 mm |
Datenerfassungsmodi | Laser: Vibration Tolerant PSI (Standard) Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition Laser: Wavelength Modulated PSI (Option) Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option) |
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Kameraauflösung | 2044 x 2044 | 2044 x 2044 | 2044 x 2044 | 2044 x 2044 |
Bildauflösung | 50 µm | 100 µm | 150 µm | 300 µm |
Fringeauflösung | >600 Fringes/Öffnung | >600 Fringes/Öffnung | >600 Fringes/Öffnung | >500 Fringes/Öffnung |
Rückführungsfehler | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 |
Sehr hoch auflösende Interferometer der S-Serie|HRx | |||
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Modell | S50|HRx | S100|HRx | S150|HRx |
Öffnung | 51 mm | 102 mm | 153 mm |
Datenerfassungsmodi | Laser: Vibration Tolerant PSI (Standard) Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition Laser: Wavelength Modulated PSI (Option) Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option) |
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Kameraauflösung | 3000 x 3000 | 3000 x 3000 | 3000 x 3000 |
Bildauflösung | 35 µm | 70 µm | 105 µm |
Fringeauflösung | >600 Fringes/Öffnung | ||
Rückführungsfehler | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 | λ/15 Optional: λ/20 |
Die Bildauflösung gibt hierbei an, wie klein ein Merkmal gemessen werden kann. Die Interferometer der S-Serie HR und SR verfügen über eine beugungsbegrenzte Bildgebung, die über einfache Kamerapixel hinausgeht und die Gesamtsystemleistung steigert.
Zu dem Interferometer wird außerdem die Aquisition und Analysis Software REVEAL mitgeliefert, mit deren Hilfe sämtliche Messdaten sehr einfach und professionell ausgewertet werden können.
Für mehr Informationen verweisen wir auf die Webseite des Herstellers.