Standard- und hochauflösende Fizeau-Interferometer

Die Fizeau-Interferometer von Äpre Instruments sind für die flexible optische Qualitätsbeurteilung von Oberflächen und Optiken geeignet.

Der Vorteil hierbei ist, dass Sie innerhalb einer Minute zwischen einer großen Kohärenzlänge für Laser und einer kleinen Kohärenzlänge für SCI (Spectrally Controlled Interferometry) Anwendungen umschalten können.

 

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Folgende Modelle für Standardauflösung sowie Hochauflösung werden angeboten:

 StandardauflösungHochauflösung
ModellS50 | SRS100 | SRS150 | SRS50 | HRS100 | HRS150 | HR
Öffnung50 mm100 mm150 mm50 mm100 mm150 mm
DatenerfassungsmodiLaser: Vibration Tolerant PSI (Standard)
Laser: Vibration Insensitive PSI (Standard)
Laser: Wavelength Modulated PSI (Option)
Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option)
Kameraauflösung1000 x 1000
1000 x 1000
1000 x 1000
2000 x 2000
2000 x 2000
2000 x 2000
Bildauflösung100 µm200 µm300 µm50 µm100 µm150 µm
Fringeauflösung325 Fringes/Öffnung650 Fringes/Öffnung
Rückführungsfehlerλ/20λ/20λ/20λ/20λ/20λ/20

Die Bildauflösung gibt hierbei an, wie klein ein Merkmal gemessen werden kann. Die Interferometer der S-Serie HR und SR verfügen über eine beugungsbegrenzte Bildgebung, die über einfache Kamerapixel hinausgeht und die Gesamtsystemleistung steigert.

Zu dem Interferometer wird außerdem die Aquisition und Analysis Software REVEAL mitgeliefert, mit deren Hilfe sämtliche Messdaten sehr einfach und professionell ausgewertet werden können.

Für mehr Informationen verweisen wir auf die Webseite des Herstellers.