Positionierung mit Schrittmotoren
Im Gegensatz zu Piezogetriebenen Achsen eignen sich Schrittmotoren für die Positionierung von schwereren Objekten. Der Aufbau der Motoren ist sehr robust und ermöglicht trotz hoher Schub- und Zugkräfte kleine Stellbewegungen des Tisches. Da es sich um einen externen Antrieb handelt, sind die schrittgetriebenen Achsen von Micronix nicht ganz so platzsparend wie die Piezogetriebenen.
Übersicht der schrittgetriebenen Achsen
| Name | Typ | Verfahrweg in mm | Last in kg | Encoder | Umgebung neben Atmosphärisch |
|---|---|---|---|---|---|
| VT-21S | Linear | 10 | 1 | Analog, Digital | HV |
| VT-21L | Linear | 26 | 1 | Analog, Digital | HV |
| PPS-20SM | Linear | 12, 18, 26, 51 | 2 | Analog, Digital | HV |
| PPS-28SM | Linear | 26, 51, 76, 102 | 5 | Analog, Digital | HV |
| PPS-60SM | Linear | 25, 50, 100, 200, 300 | 15 | Analog, Digital, Digital (low cost) | HV, UHV |
| PPS-110 | Linear | 100, 200, 300, 500, 1000 | 25 | Digital | HV, UHV |
| VT-50L | Linear | 50, 100, 200, 300 | 20 | Analog, Digital | HV |
| PR-50SM | Rotation | 360° | 2 | Analog, Digital | HV |
| PG-50SM | Goniometer | +-5° | 2 | Analog, Digital | HV |
| ES-50SM | Hub | 10 | 1 | Analog, Digital | HV |
| PZS-90 | Hub | 35 | 15 | Analog, Digital, Digital (low cost) | |
| MP-21 | Schieber | 12, 25 | 2 | - | HV |
| MPA-20 | Schieber | 12 | 10 | - | UHV |
Steuerung:
Der MMC-200 ist eine kostengünstige Schrittmotorsteuerung. Er ermöglicht Geschwindigkeiten über 5 mm/s bei geschlossenen Regelkreisen (closed loop) zu 50 nm. Mehrere Einheiten können als kompaktes Mehrachsmodul gestapelt werden und über ein einziges USB- oder RS-485-Kabel mit einem Computer verbunden werden. Die MICRONIX Motion Control Language ermöglicht eine einfache Programmierung durch einfache ASCII-Befehle.