Standard- und hochauflösende Fizeau-Interferometer

Die Fizeau-Interferometer von Äpre Instruments sind für die flexible optische Qualitätsbeurteilung von Oberflächen und Optiken geeignet.

Der Vorteil hierbei ist, dass Sie innerhalb einer Minute zwischen einer großen Kohärenzlänge für Laser und einer kleinen Kohärenzlänge für SCI (Spectrally Controlled Interferometry) Anwendungen umschalten können.

 

Folgende Modelle für Standardauflösung sowie Hochauflösung werden angeboten:

 Standardauflösende Universal-Interferometer der S-Serie|SR
ModellS50|SRS100|SRS150|SR
Öffnung50 mm100 mm150 mm
DatenerfassungsmodiLaser: Vibration Tolerant PSI (Standard)
Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition
Laser: Wavelength Modulated PSI (Option)
Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option)
Kameraauflösung1022 x 1022
1022 x 1022
1022 x 1022
Bildauflösung100 µm200 µm300 µm
Fringeauflösung>250 Fringes/Öffnung
Rückführungsfehlerλ/20λ/20λ/20

 Hochauflösende Hochleistungs-Interferometer der S-Serie|HR
ModellS50|HRS100|HRS150|HRS300|HR
Öffnung50 mm100 mm150 mm300 mm
DatenerfassungsmodiLaser: Vibration Tolerant PSI (Standard)
Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition
Laser: Wavelength Modulated PSI (Option)
Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option)
Kameraauflösung2044 x 2044
2044 x 2044
2044 x 2044
2044 x 2044
Bildauflösung50 µm100 µm150 µm300 µm
Fringeauflösung>500 Fringes/Öffnung
Rückführungsfehlerλ/20λ/20λ/20λ/20

 Sehr hoch auflösende Interferometer der S-Serie|HRx
ModellS50|HRxS100|HRxS150|HRx
Öffnung50 mm100 mm150 mm
DatenerfassungsmodiLaser: Vibration Tolerant PSI (Standard)
Laser: Vibration Insensitive using Spatial-Carrier Fringe Acquisition
Laser: Wavelength Modulated PSI (Option)
Low Coherence: Spectrally Controlled Interferometry (Option)
Kameraauflösung3258 x 32583258 x 3258
3258 x 3258
Bildauflösung>20 lines/mm>10 lines/mm>15 lines/mm
Fringeauflösung>500 Fringes/Öffnung
Rückführungsfehlerλ/20λ/20λ/20

Die Bildauflösung gibt hierbei an, wie klein ein Merkmal gemessen werden kann. Die Interferometer der S-Serie HR und SR verfügen über eine beugungsbegrenzte Bildgebung, die über einfache Kamerapixel hinausgeht und die Gesamtsystemleistung steigert.

Zu dem Interferometer wird außerdem die Aquisition und Analysis Software REVEAL mitgeliefert, mit deren Hilfe sämtliche Messdaten sehr einfach und professionell ausgewertet werden können.

Für mehr Informationen verweisen wir auf die Webseite des Herstellers.