Spiegelobjektive

Die originalen Beck/Ealing-Reflexionsobjektive wurden ursprünglich für die Mikroskopie entwickelt und werden weltweit nur von wenigen Herstellern angeboten. Sie basieren auf einem Zwei-Spiegel-System und sind im Gegegensatz zu refraktiven Objektiven frei von chromatischer Aberration. Die Reflexionsobjektive sind eine Kombination aus Spiegel und Linse und bestehen aus Primär- und Sekundärspiegel zur Lichtfokussierung und Bilderzeugung. Ursprünglich wurden die Spiegelobjektive für die Mikroskopie entwickelt, heute finden sie häufig Anwendung in Strahlführungssystemen. Sie weisen einzigartige optische Eigenschaften und Vorteile gegenüber Standardobjektiven auf:

  • Frei von chromatischer Aberration
  • Größerer Arbeitsabstand im Verhältnis zur Vergrößerung
  • Größere numerische Aperturen für eine höhere Leistung beim Light Gathering
  • Hohe Durchgangsleistung vom UV bis weit ins IR (Verschiedene Beschichtungen verfügbar)
  • Geringer Peak to Valley wavefront error ≤ λ/4 (0.25 λ), λ/14 RMS @633nm

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    Applikationen
    • FT-IR-Spektroskopie
    • UV-Messtechnik und Mikroskopie
    • Halbleiter-Wafer-Inspektion
    • Fotomikroskopie
    • Fotolithographie
    • Dünnschichtmessungen
    • Laserstrahlführung
    • Laserbohren und -ätzen
    • Produktkennzeichnung
    • Optisches Laserpumpen
    • Wärmebildmikroskopie
    Technische Daten der sechs Standard-Reflexionsobjektive:

    Kundenspezifische Anpassungen sind möglich.

    PropertyBeck Optronic Solutions Model No
    5001-0005002-0005003-0005004-0005006-0005007-000
    Magnification x15x15x25x36x52x74
    Numerical Aperture0.280.500.400.500.650.65
    Focal length (mm)13.3513.418.005.413.552.54
    Visual FOV (mm)1.201.200.720.500.340.24
    Obscuration25.0 %21.5 %22.5 %13.0 %17.5 %15.0 %
    Transmitted wavefront error≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm≤ λ/4 P-V, λ/14 RMS @663nm
    Working distance (mm)24.523.214.58.61.91.0
    Small mirror diameter (mm)7.3013.406.305.604.603.35
    User adjustmendt for tubelength & cover glass thicknessFixed (factory set)Fixed (factory set)Fixed (factory set)YesYesYes
    Range of cover glass thickness0 - 3.0mm*0 - 3.0mm*0 - 3.0mm*0 - 1.0mm0 - 1.0mm0 - 1.0mm
    Range of Tube-length (mm)80 - ∞*80 - ∞*80 - ∞*90 - ∞120 - ∞120 - ∞
    * Factory Set for one cover glass thickness and one tube length. To be specified at the time of ordering.

    Beschichtungen für Reflexionsobjektive

    Die Reflexionsobjektive werden standardmäßig mit aluminiumbeschichteten Spiegeln geliefert, wodurch der breitest mögliche Spektralbereich bis ins tiefe Infrarot abgedeckt wird, das Objektiv jedoch nur für Anwendungen mit geringer Leistung geeignet ist. Für Anwendungen, die eine hohe Leistungen erfordern, stehen alternative Beschichtungen zur Verfügung. Darüber hinaus werden auch Sonderbeschichtungen für spezielle Anwendungen angeboten.

    RangeReflectanceCoatingSuffix
    250nm - 10µm89.0% averageAluminium-000
    190nm - 10µm>89.0%DUV Enhanced Aluminium-190
    700nm - 15µm98.0%Gold-120

    Zur Abstützung des Sekundärspiegels werden die Reflexionsobjektive standardmäßig mit einer 3 legged spider geliefert. Wird der zweite Spiegel auf diese Art befestigt, wird zum einen die Diffraktion minimiert und zum anderen ein sechs-Punkt Streumuster erzeugt. Alternativ ist die Befestigung mit einer 4 legged spider möglich, was eine höhere Diffraktion bewirkt und ein vier-Punkt-Streumuster erzeugt. Ohne Angabe wird immer der Standard mit 3 legged spider geliefert.

    Hinweis:
    Sollten Rückreflexionen ein Problem in Ihrer Anwendung  darstellen kann eine mattschwarze Vertiefung in den zweiten (kleinen) Spiegel geschliffen werden.
    Wenn ein Durchgangsloch durch den zweiten Spiegel benötigt wird, prüfen wir gerne mögliche Optionen mit dem Hersteller.